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《微电子技术》

微电子技术

ISBN/价格:7-5323-3352-3:¥10.60
作品语种:chi
出版国别:CN 310000
题名责任者项:微电子技术/.王守觉等编著
出版发行项:上海:,上海科学技术出版社:,1994
载体形态项:208页:;+图:;+20cm
提要文摘:本书较全面介绍了微电子这一高新技术。内容包括微电子学的基本原理、集成电路的微细图形加工技术、微电子技术加工工艺、微电子技术在各领域的应用及其发展前景。
题名主题:微电子技术
中图分类:TN4
个人名称等同:王守觉 编著
记录来源:CN NLC 20071226
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